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中科飛測公司研究報告：半導體量檢測設備深耕者，豐富品類助力自主可控。專注高端半導體質量控制設備，產品矩陣不斷豐富。中科飛測專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售。公司提供涵蓋設備產品、智能軟件產品和相關服務的全流程良率管理解決方案，客戶群體廣泛覆蓋邏輯、存儲、功率半導體、MEMS 等前道制程企業，碳化硅、氮化鎵、砷化鎵等化合物半導體企業，晶圓級封裝和 2.5D/3D 封裝等先進封裝企業，大硅片等半導體材料企業以及刻蝕設備、薄膜沉積設備、CMP 設備等各類制程設備企業。公司于2023 年登陸科創板上市，2024 年量檢測設備出貨達 1000 臺。

全球半導體量檢測設備市場規模持續增長，中國大陸市場高速發展。檢測和量測包括光學檢測技術、電子束檢測技術和 X 光量測技術等。應用光學檢測技術的設備可以較好實現高精度和高速度的均衡，并且能夠滿足其他技術所不能實現的功能，因此采用光學檢測技術設備占多數。根據 QY Research 預測，2023年全球半導體量測和檢測市場銷售額達到 152.9 億美元，預計2030 年將達到277.6億美元，2024-2030 年 CAGR=8.1%。得益于中國半導體全行業的蓬勃發展和國家對半導體產業持續的政策扶持，行業下游晶圓廠在關鍵工藝節點上持續推進，產能持續擴張。根據 VLSI 數據統計，2020 年至 2024 年中國大陸半導體檢測與量測設備市場規模CAGR=27.73%。

核心技術不斷突破，產品迭代升級取得積極進展。公司擁有九大系列設備和三大系列軟件產品。九大系列設備面向全部種類集成電路客戶需求，其中，七大系列設備已批量量產，并在國內頭部客戶產線應用，技術指標全面滿足國內主流客戶的工藝需求，各系列產品市占率穩步快速增長，此外，其他兩大系列設備已完成樣機研發，并已批量出貨至多家國內頭部客戶，開展產線工藝驗證和應用開發。三大系列智能軟件已全部應用在國內頭部客戶，有效提升半導體制造良率和產品性能。