中科儀-920186-北交所首次覆蓋報告：中科院真空設備龍頭，打破海外壟斷，半導體+光伏雙驅迎來高增長.pdf

中科儀（920186.BJ）是一家專注于干式真空泵和真空科學儀器設備研發、生產、銷售及相關技術服務的企業，擁有中科院背景，是真空設備領域的領軍者。公司主營業務包括面向半導體及泛半導體領域用于晶圓制造的干式真空泵，以及面向國家重大科技基礎設施和科研領域的真空科學儀器設備。公司擁有三個國家級研發平臺，截至2025年12月31日，已獲得授權的發明專利103項、實用新型專利20項，軟件著作權登記37項。

在干式真空泵領域，公司是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，也是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業。公司的研發創新打破了歐美及日本企業的長期壟斷，已在中國各領先晶圓制造企業實現大批量應用，并已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量出貨。此外，公司干式真空泵產品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體的制備，并已實現批量交付。

根據WSTS預計，2025年全球集成電路市場規模將增至6,779億美元，較2024年增長25.65%。根據公司測算，2024年全球集成電路產業對干式真空泵的需求為12.57萬臺，市場規模約125.74億元；中國大陸集成電路產業對干式真空泵的需求為5.21萬臺，市場規模約52.11億元；2024年我國光伏產業對干式真空泵的需求約6.7-8.2萬臺，市場規模約47.0-57.2億元。公司募投項目預計將進一步提升技術水平，提升生產能力，形成年產20,040臺干式真空泵的生產能力。

預計公司2026-2028年的歸母凈利潤分別為2.26/2.64/3.14億元（不考慮交易性金融資產公允價值變動以及出售金融資產所得收入），對應EPS分別為1.01/1.18/1.40元/股，對應PE為87.6/75.2/63.3X，首次覆蓋，給予“增持”評級。